ВАКУУМ (от лат. vacuum — пустота) — среда, содержащая газ при давлениях, существенно ниже атмосферного. В. характеризуется соотношением между ср. длиной свободного пробега

молекул газа и размером

характерным для каждого конкретного процесса или прибора. Таким размером могут быть расстояние между стенками вакуумной камеры, диаметр вакуумного трубопровода, расстояние между электродами электровакуумного прибора и т. п. Величина

равна отношению ср. скорости молекулы

к числу

столкновений, испытываемых ею за единицу времени: эту величину можно также выразить через диаметр молекулы

и число молекул

в единице объёма:

(для электронов

в 5—6 раз больше).
В зависимости от величины отношения

различают низкий (

), средний (

), высокий (

) В. В низком В. преобладают столкновения молекул друг с другом, в высоком В. преобладают столкновения молекул со стенками камеры. В обычных вакуумных установках и приборах (

) низкому В. соответствуют давления

среднему В. — от

до

высокому В.—

В порах или каналах днам. мкм высокому В. соответствует давление начиная с десятков и сотен мм рт. ст., а в камерах для имитации космич. пространства (объёмом в десятки

) граница между средним и высоким В. порядка

Понятие сверхвысокого В. связывается не с величиной отношения

а со временем

необходимым для образования мономолекулярного слоя газа на поверхности твёрдого тела в В., к-рое оценивается но ф-ле:

где

— коэф. захвата частицы поверхностью. Сверхвысоким В. наз. область давлений

когда
