ВАКУУМ (от лат. vacuum — пустота) — среда, содержащая газ при давлениях, существенно ниже атмосферного. В. характеризуется соотношением между ср. длиной свободного пробега
молекул газа и размером
характерным для каждого конкретного процесса или прибора. Таким размером могут быть расстояние между стенками вакуумной камеры, диаметр вакуумного трубопровода, расстояние между электродами электровакуумного прибора и т. п. Величина
равна отношению ср. скорости молекулы
к числу
столкновений, испытываемых ею за единицу времени: эту величину можно также выразить через диаметр молекулы
и число молекул
в единице объёма:
(для электронов
в 5—6 раз больше).
В зависимости от величины отношения
различают низкий (
), средний (
), высокий (
) В. В низком В. преобладают столкновения молекул друг с другом, в высоком В. преобладают столкновения молекул со стенками камеры. В обычных вакуумных установках и приборах (
) низкому В. соответствуют давления
среднему В. — от
до
высокому В.—
В порах или каналах днам. мкм высокому В. соответствует давление начиная с десятков и сотен мм рт. ст., а в камерах для имитации космич. пространства (объёмом в десятки
) граница между средним и высоким В. порядка
Понятие сверхвысокого В. связывается не с величиной отношения
а со временем
необходимым для образования мономолекулярного слоя газа на поверхности твёрдого тела в В., к-рое оценивается но ф-ле:
где
— коэф. захвата частицы поверхностью. Сверхвысоким В. наз. область давлений
когда