2014 dxdy logo

Научный форум dxdy

Математика, Физика, Computer Science, Machine Learning, LaTeX, Механика и Техника, Химия,
Биология и Медицина, Экономика и Финансовая Математика, Гуманитарные науки




Начать новую тему Ответить на тему
 
 полупроводники
Сообщение13.12.2007, 18:25 


13/12/07
1
помогите пожалуйста советом.вопрос относительно влияние облучения на поверхностные свойства проводников.в книге Волькенштейна посвященной этому вопросу нашла : "при том направлении поля при котором приповерхностный слой проводника обогатился дырками..."у меня возник вопрос-как они это "увидели"?какой метод позволяет идентифицировать обогащение поверхностного слоя проводника электронными вакансиями?пардон за может быть глупый вопрос и спасибо за ответ

 Профиль  
                  
 
 
Сообщение13.12.2007, 21:12 
Заслуженный участник
Аватара пользователя


20/01/06
1037
Может померяли вольтметром, эти дырки, по идее, поле создают вокруг себя. Если одна поверхность заряжена положительно, а вторая - ноль, то cоздается разность потенциалов. Хотя я не знаю точно.

 Профиль  
                  
 
 
Сообщение14.12.2007, 13:08 
Заслуженный участник
Аватара пользователя


20/01/06
1037
Вопрос интересный вообще. В твердом теле, полупроводниках в частности, померять распределения каких либо характеристих (потенциальный рельеф, распределения зарядов) вдоль структуры напрямую понятное дело нельзя, потому что мы имеем доступ только к поверхностям, а что внутри - это для контактных методов Terra Incognita. Однако, тут помогает теория и непрямые методы. Большинство информации извлекается из вольт-амперной характеристики (из нее можно извлечь информацию о проводимости для разных электрических смещений). Самый продвинутый на сегодняшний день вид этой техники - это Transmission Electron Microscopy (TEM). Суть в том, что в определенной точке поверхности, осуществляется контакт иглы микроскопа и твердого тела, подается разность потенциалов и меряется вероятность прохождения электронов сквозь структуру для разных значений напряженностей поля (проще говоря ток). И для каждой точки поверхности снимается вольт-амперная характеристика. Другая техника включает исследования в магнитных полях - циклотронный резонанс например.
Но все эти методы интегральные, т.е. не дают разрешения вглубь. Максимум, что можно получить - картинку поверхности. Однако, эти методы часто применяют и для "глубинных" исследований, так как из интегральных характеристик можно "вычесть" влияние однородного полупроводника и некоторых известных деффектов.

 Профиль  
                  
 
 
Сообщение14.12.2007, 13:26 
Экс-модератор
Аватара пользователя


23/12/05
12064
Freude писал(а):
В твердом теле, полупроводниках в частности, померять распределения каких либо характеристих ... вдоль структуры напрямую понятное дело нельзя, потому что мы имеем доступ только к поверхностям


А что насчет эллипсометров?
:wink:

 Профиль  
                  
 
 
Сообщение14.12.2007, 13:51 
Заслуженный участник
Аватара пользователя


20/01/06
1037
Во-первых
Цитата:
это для контактных методов

Во-вторых, а как этим методом измерять потенциальных профиль, или распределение заряда, или наличие дефектов? Я просто не знаю.

А что меряет эллипсометр - только поларизацию света, в результате всех его взаимодействий, проходя сквозь всю струкутру? Где же здесь продольное разрешение? Т.е. как померять расстояние от поверхности до дефекта?

Всегда ли взаимодействие света с дефектом приводит к изменению поляризации? Всегда ли отическое излучение взаимодействует c дефектом так, что бы изменилась его поляризация?

 Профиль  
                  
 
 
Сообщение14.12.2007, 13:55 
Экс-модератор
Аватара пользователя


23/12/05
12064
Freude писал(а):
Во-первых
Цитата:
это для контактных методов

Во-вторых, а как этим методом измерять потенциальных профиль, или распределение заряда, или наличие дефектов? Я просто не знаю.


Я не говорил о потенциальном профиле... а распределение зарядов и некоторых типов дефектов наверное можно оценить, хотя я не экспериментатор и не могу утверждать точно. Да, бесконтакный метод, но нам-то какая разница? - главное результат

 Профиль  
                  
 
 Re: полупроводники
Сообщение16.12.2007, 20:37 
Заблокирован


15/07/07

167
Минск
MARIAVL писал(а):
..."при том направлении поля при котором приповерхностный слой проводника обогатился дырками..."у меня возник вопрос-как они это "увидели"?какой метод позволяет идентифицировать обогащение поверхностного слоя проводника электронными вакансиями?пардон за может быть глупый вопрос и спасибо за ответ

================================ Дырочная проводимость характерна для полупроводников и может быть косвенно определена по величине составляющей злектрической проводимости за счёт свободных носителей заряда (по поглощению электромагнитного излучения поверхостью полупроводника, фотопроводимости слоёв и другими методами).
Наиболее доступными бесконтактными методами измерения поверхностной электропроводимости полупроводников в этом случае являются методы лазерного зондирования (при вариации длины волны излучения) и эллипсометрия (в диапазоне длин волн 0,2 – 2,0 мкм). Например, литературные ссылки:
[1] Lile D. L., Davis N. M. Semiconductor profiling using an optical probe. – Sol. – St. Electron., 1975, vol. 18, N 7, 8, p. 699 – 704.
[2] Иоффе Б. В. Рефрактометрические методы химии. 3-е изд. – Л.: Химия, 1983. [3. Эллипсометрические методы (с. 233 - 240)].

Так излучение азотного лазера (с длиной волны 0,34 мкм) поглощается в кремнии на глубине порядка 0,01 мкм, рубинового лазера (0,63 мкм) – на глубине порядка 1 мкм, ниодимового лазера (1,06 мкм) – на глубине порядка 100 мкм и более.
Эллипсометрические методы (на отражение света) позволяют производить измерения в области фундаметального поглощения полупроводиков (включающей видимый диапазон оптического спектра), что не доступно другим оптическим методам (на прохождение света) из-за сильного поглощения в полупроводниках.
Общий же характер диэлектрических и оптических спектров полупроводников, наиболее распространённых в электронной и оптической промышленности (кремния, арсенида галлия, германия и других), можно найти через Интернет в электронной Базе Данных программы “SPECTRA” (графические и численные данные).

 Профиль  
                  
 
 
Сообщение17.12.2007, 11:11 
Заслуженный участник
Аватара пользователя


20/01/06
1037
А зачем использовать бесконтактные методы, если поверхностную проводимость можно померять контактно?

 Профиль  
                  
 
 
Сообщение17.12.2007, 11:45 
Экс-модератор
Аватара пользователя


23/12/05
12064
Freude писал(а):
А зачем использовать бесконтактные методы, если поверхностную проводимость можно померять контактно?

Видимо, потому что контактно получится то самое, о чем Вы говорили, - интегральное влияние, а бесконтактно можно определить распределение носителей в зависимости от расстояния до поверхности

 Профиль  
                  
 
 
Сообщение26.12.2007, 15:57 
Аватара пользователя


25/08/07

572
с Уралу
Freude писал(а):
А зачем использовать бесконтактные методы, если поверхностную проводимость можно померять контактно?

конечно контактно!
Даже больше того вместо двух электродов лучше применять четыре по паре токовых и потенциальных ...
...так что не контактно а четырех контактно!

только нужно быть уверенным, что очтальная часть полупроводника в проводимости не участвует...
в данном случае можно было взять собственный полупроводник с незначительной проводимостью.... или организовать все так, что б образовался p-n переход.

НО это все не очень правильно... для того, что б оценить количество носителей нужно применять измерения холловской проводимости...

 Профиль  
                  
 
 
Сообщение25.01.2008, 09:37 


25/01/08
3
Есть такой метод в дефектоскопии: метод наведенного тока, всю схему обьснить не могу , знаю только что это -- обыкновенная электроноскопия но прибор(диод например) подключают к источнику напряжения, и на электронограмме в вдие темных и светлых полос видно распределние зарядов.

 Профиль  
                  
Показать сообщения за:  Поле сортировки  
Начать новую тему Ответить на тему  [ Сообщений: 11 ] 

Модераторы: photon, whiterussian, profrotter, Jnrty, Aer, Парджеттер, Eule_A, Супермодераторы



Кто сейчас на конференции

Сейчас этот форум просматривают: нет зарегистрированных пользователей


Вы не можете начинать темы
Вы не можете отвечать на сообщения
Вы не можете редактировать свои сообщения
Вы не можете удалять свои сообщения
Вы не можете добавлять вложения

Найти:
Powered by phpBB © 2000, 2002, 2005, 2007 phpBB Group