Где такая терминология принята? Субмикрон он и есть субмикрон, хоть глубокий, хоть тонкослойный. "Нано" - это не нанометры, а другой пучок технологий, например, по сравнению с просто планарной. Вы же не АСМ маску гравируете для этих слоёв?
Имхо, сейчас "нано" применяется для обозначения двух разных вещей:
1) обычные материалы малых размеров - от нано-порошков до тонких плёнок;
2) системы с принципиально новыми принципами функционирования: молекулярная электроника (в смысле single-molecule), наноспинтроника, нано-биологические системы.