Габович М.Д. Физика и техника плазменных источников ионов

[lopuxov]

Может кто знает, или у кого есть отсканированный/отфотографированный вариант. Нужна глава "Плазменные ионные источники (основные физические процессы, конструкции, свойства и параметры)".
Залить можно сюда http://disk.karelia.ru/e/elektron1987/Upload