Вот говорят, что на этих масштабах может существовать некая "квантовая пена", состоящая из постоянно рождающихся и исчезающих виртуальных частиц. А что, эти частицы не больше планковских размеров?
По квантовой теории поля - частицы точечные. То есть вообще размер 0. Это не считая "шубы", которая, конечно, у всех частиц есть, но в обсуждаемом смысле размером частицы не считается (кроме названного размера нуклона, который не является истинно элементарной частицей, а внутри него сидят несколько кварков, и глюонами поигрывают).
Но квантовая теория поля - теория, которая хорошо работает на тех масштабах, которые мы "прощупали" в экспериментах. Что дальше будет - неизвестно. Один из вариантов - теория струн. И по теории струнк, каждая частица - это такая короткая линия. Или петелька. Или даже пузырёк. И вот размеры этой линии-петельки оказываются как раз того же порядка, что и размеры "пузырей квантовой пены".
Что касается того, что мы надёжно знаем, то мы надёжно знаем верхние границы размеров частиц. Мы не можем экспериментом определить, точечная частица или не точечная - мы можем только измерить её, и сказать, что она, скажем, меньше 0,01 аттометра. А ещё точнее измерить мы не можем - точности наших инструментов не хватает. К нулю наши линейки вплотную не подходят. Такие экспериментальные верхние границы на все известные истинно элементарные (иначе говорят, фундаментальные) частицы одинаковы: и на электроны, и на фотоны, и на кварки. И все они около 0,01 аттометра - 1e-20 метра.
Отдельно надо сказать про "квантовую пену, состоящую из постоянно рождающихся и исчезающих виртуальных частиц". Дело в том, что здесь смешаны две вещи. Постоянно рождающиеся и исчезающие виртуальные частицы - это обыкновенный физический вакуум. Он давно и хорошо исследован, он виден уже на масштабах меньше атома, но больше атомного ядра: на масштабах порядка "классического радиуса электрона" (это традиционное название ещё более неудачное и бессмысленное, чем "скорость света", но общепринято) - 2,8 фм. Измерение первого эффекта, связанного с физическим вакуумом, было сделано в 1947 году - это эффект Лэмба, сверхтонкое расщепление спектральных уровней в атоме водорода. Часто про такой процесс рождающихся и исчезающих виртуальных частиц говорят как про "квантовый суп", особенно когда он "подогрет" и более интенсивен - например, на начальных стадиях Большого Взрыва.
А "квантовая пена" - это нечто на совсем другом уровне. В этом понятии подразумевается, что постоянно рождаются и уничтожаются виртуальные флуктуации пространства-времени (или, если хотите, гравитоны - частицы гравитационного взаимодействия). Вот в этом случае само пространство-время становится не ровным, а изрытым "пузырями", "ручками", виртуальными чёрными дырами и тому подобными неоднородностями, которые и получили название "квантовой пены". В другом понимании этого слова, пространство-время оказывается не непрерывным, как вода, а состоящим из "стенок между пузырьками пены", которая только с более крупных масштабов выглядит непрерывной.
И еще: каков размер у фотона?
Заодно ответил выше и на этот вопрос.
Но если там ничего нет, то как вдруг на некоем масштабе появились элементарные частицы? Ведь у них тоже должна быть структура, основа и т.д.
Нет, "структура, основа" - это предрассудки. Увы, очень распространённые. Но ненаучные. Структура элементарной частицы - это просто точка. И появилась она не на каком-то масштабе - а существует на всех масштабах до самого нуля.
По крайней мере, именно такое рассмотрение элементарной частицы как точки - полностью подтверждено экспериментами, и встречает меньше всего трудностей при теоретическом рассмотрении. Попытки избавиться от некоторых трудностей ведут в болото трудностей большего размера, пока что. И все эти попытки - чистые домыслы, с экспериментами никак не связанные.