просто любопытно

[brimal]

Давным давно в опыте встретился с этим вопросом: можно ли фокусировкой в фоточувствительном слое получить размер
меньше длины волны.

[tola]

1. размер чего?
2. фоточувствительные слои бывают слишком разные по своей физике...

[brimal]

1. размер ширины линии
2. фоточувствительный слой-высокомолекулярная органика. Сам по себе по разрешению он позволял
(длина волны при облучении 0,5 мкм). В общем обычная фотолитография второй половины 80х. Даже
не в коротком ультрафиолете.

[tola]

насколько я понял, там все будет ограничиваться дифракционными явлениями, дифракция на круглом объективе даст кольца, радиус центрального пятна пропорционален длине волны, фокусному расст. и обратно проп. диаметру объектива(точно форм.не помню). При определенных соотношениях величин, вроде можно получить центральное пятно меньше длины волны. Но есть еще и кольца вокруг него..., что сними делать? Разве что подобрать экспозицию такую, что бы кольца не проявились (их интенсивность намного ниже центрального пятна)

[brimal]

т.е. в принципе можно? вообще то мы попытались сделать следущую схему


Стекляная пластина с одной стороны покрытая никелем
В никеле созданы отверстия представляющие тонкие линии (обычный фотошаблон)
В каждую такой линии сформирована фокусирующая плосковыпуклая линза
пучок света падает на такой фотошаблон проходит через него и засвечивает
фоточувствительный слой

[EvgenyGR]

Вроде читал, что это можно сделать с помощью обращающего зеркала.

[Munin]

Можно, если использовать ближнее поле.

[BISHA]

brimal в сообщении #394611 писал(а):

можно ли фокусировкой в фоточувствительном слое получить размер
меньше длины волны.

По размеру зерна фотослоя.

[brimal]

т.е. можно? В данном случае зерна (в смысле обычной фотопечати) не было. В светочувствительном слое (фоторезист) при обучении
рвутся связи и эти области растворяются при проявлении.

[tola]

Munin в сообщении #394804 писал(а):

Можно, если использовать ближнее поле.

А можно по-подробнее?

[Munin]

Погуглите near field optics.

[brimal]

Благодарю. Жаль что в 87м, когда мы получили 0,3мкм, не было таких поисковых систем.
Тем не менее приятно, что были на верном пути.

[Munin]

brimal в сообщении #394831 писал(а):

Благодарю. Жаль что в 87м, когда мы получили 0,3мкм, не было таких поисковых систем.

Ну, ближнее и дальнее поле в учебниках всё равно были описаны, это всё идеи не позже 40-х - 50-х.

[brimal]

вообще то ширина линии(т.е. размер линзы) на фотошаблоне была 2-2,5 мкм

[Munin]

Понятие "ближнее поле" к микронам не привязано.