Djonik писал(а):
Помогите пожалуста найти методы контроля содержания азота в получении нитрида кремния. Также нужна информация о физхимии самого нитирда кремния.
Пожалуста, срочно!
==========================================
КРЕМНИЯ НИТРИД Si3N4, желтоватые кристаллы; цвет поликристаллич. К. н. изменяется от белого до серого. Известен в двух модификациях a и b; кристаллич. структуры обеих образованы тетраэдрами SiN4, сингония гексагональная; для a-Si3N4: а=0,7765 нм, с=0,5622 нм, пространств. группа P31c; для b-Si3N4: а=0,7606 нм, с=0,2909 нм, пространств. группа Pб3/m; a-Si3N4 превращ. в b выше 1400 °С, b-Si3N4 стабилен до ~1600°С. Не плавится. Для a-Si,N4: плота. 3,192 г/см3, Сop 93,01 Дж/(моль.К); DH0oбр — 787,8 кДж/моль; S0298 66,07 Дж/(моль.К); теплопроводность 62,8 Вт/(м.К) при 300 К и 20,0 Вт/(м.К) при 1573 К; температурный коэф. линейного расширения 3,4.10-6 К-1; т-ра Дебая 1140 К; r>1015 Ом.м (293 К), 108-109 Ом.м (1273 К); ширина запрещенной зоны 4,0 эВ; диэлектрич. проницаемость 6,3-7,1; тангенс угла диэлектрич. потерь (5,3-9,7).10-3. Интенсивно возгоняется с разл. выше 1600°С; ур-ния температурной зависимости равновесного давления N2 над К. н.: lgp(мм рт. ст.) = 7,17-16347/T (1200-1683 К), lgp(MM рт. ст.) = 9,22-19858/T (1683-2000 К). Твердость по Виккерсу (нагрузка 100 г): 45,3 ГПа (a) и 34,8-35,8 ГПа (b); модуль упругости 298 ГПа. К. н. не взаимод. с азотной, серной и соляной к-тами, слабо реагирует с Н3РО4 и интенсивно с фтористоводородной к-той; разлагается расплавами щелочей, оксидов и карбонатов щелочных металлов. Не взаимод. с Сl2 до 900°С, Н2S - до 1000°С, Н2 - до 1200°С. С расплавами Al, Pb, Sn, Zn, Bi, Cd, Cu не реагирует, с переходными металлами образует силициды, с оксидами металлов выше 1200 °С - силикаты. Окисление К.н. на воздухе начинается выше 900 °С К. н. получают взаимод. Si с N2 в печах или в плазме выше 1200°С, восстановлением SiO, углеродом в присут. N2, р-цией SiH4 или SiQ4 с N2 или NH3. Компактные изделия из К.н. получают спеканием, горячим прессованием, пиролизом соед. Si. Высокопрочные изделия производят спеканием в газостатич. установках под высоким давлением N2 и в оболочках под давлением нейтральных газов. К.н. применяют для изготовления деталей теплового тракта газотурбинных двигателей, двигателей внутр. сгорания, тиглей, защитных чехлов термопар, элементов насосов, трубопроводов и штуцеров для перекачки расплавов цветных металлов, для футеровки металлургич. печей, сопел газовых горелок, изготовления инструментов (напр., резцов), блочных носителей катализаторов, обтекателей головных частей летательных аппаратов, радиопрозрачных окон, как абразивный и изоляц. материал.
===
Исп. литература для статьи «КРЕМНИЯ НИТРИД»: Нитрид кремния в электронике, под ред. А. В. Ржапова, Новосиб., 1982; Андриевский Р. А. Спивак И. И., Нитрид кремния и материалы на его основе, М., 1984; Неметаллические тугоплавкие соединения, М., 1985. См. также ляг. при ст. Нитриды. П. С. Кислый.
Страница «КРЕМНИЯ НИТРИД» подготовлена по материалам химической энциклопедии.
---------------------------------------------------------------------
Нитрид кремния - синтез и свойства
Андриевский Р. А.1
Институт новых химических проблем РАН
Abstract
Рассмотрены методы получения нитрида кремния и материалов на его основе в виде порошков и консолидированных из них материалов, а также в виде пленок и покрытий. Проанализирована и обсуждена информация о структуре и физико-химических свойствах нитридокремниевых материалов. Библиография - 172 ссылки.
Андриевский Р. А., Нитрид кремния - синтез и свойства, Усп. Хим., 1995 (64), 4, 311-329
