Последний раз редактировалось SVD-d 09.03.2018, 15:45, всего редактировалось 1 раз.
С глазами дел не имел, поэтому скажу пару вещей насчёт тонких пластин вообще. Будем считать, что я говорю про кремний.
Источников ошибки при определении толщины тонких пластин может быть три. По крайней мере, только три мне приходят на ум в первую очередь. Во-первых, толщина пластины может быть реально разной в разных точках измерения. Чтобы убедиться в обратном надо измерить толщину в нескольких точках на одном приборе, не убирая образец, а потом последовательно в тех же точках на другом. Во-вторых, при измерении на разных приборах образец может быть установлен под небольшим углом. Тут помогает несколько раз измерить образец на одном и том же приборе, снимая и устанавливая образец заново. Ни в первом, ни во втором случае длина волны явно нигде не участвует. И это правильно, потому что в приборе уже заложен математический аппарат, учитывающий конкретную длину волны, и все рассуждения про большее или меньшее преломление уже учтены.
В-третьих, важен принцип измерения: на просвет или по отражению? Если по отражению (то есть, фактически, по интенсивности и разнице фаз прошедшего насквозь два раза и отражённого), то сразу скажу: обратная задача расчёта толщины по прошедшему лучу не имеет аналитического решения и в лучшем случае решается приближениями, более или менее близко подобранными к данному конкретному случаю. Чем дальше ваш случай далёк от первоначального замысла автора, тем хуже будет работать приближение. Тем меньше оно учитывает неоднородность материала и кривизну поверхности.
Вот вы говорите, что приборы калиброванные. Можно поискать образцы, на которых их калибровали, и убедиться в том, что на них результаты одинаковы. Если нет, один из приборов надо перекалибровать.
|