При анализе работы установки ионного травления я наткнулся на математическую проблему, с которой никак не могу разобраться. Ниже - формулировка задачи и мои соображения.
Физика
Есть установка ионного травления. С её помощью нужно получить лунку с максимально плоским дном. Если поставить образец перпендикулярно пучку, вытравится лунка с профилем
![$f(x_1,y_1)=\exp\left(-(x_1^2+y_1^2)/\sigma^2\right) $f(x_1,y_1)=\exp\left(-(x_1^2+y_1^2)/\sigma^2\right)](https://dxdy-02.korotkov.co.uk/f/5/5/a/55ab6ac86fba67a2fb18e07a3c9d4cd882.png)
, где
![\sigma \sigma](https://dxdy-03.korotkov.co.uk/f/a/2/a/a2ab7d71a0f07f388ff823293c147d2182.png)
- полуширина пучка на уровне 1/e. Выполним замену переменных
![$x=x_1/\sigma, y=y_1/\sigma$ $x=x_1/\sigma, y=y_1/\sigma$](https://dxdy-03.korotkov.co.uk/f/2/2/3/22397bc0a0fa72624312cecdcc10d5d782.png)
и в дальнейшем будем полагать что все координаты и пространственные измерения являются безразмерными, или, что то же самое, выраженными в единицах полуширины пучка. Имевшаяся установка модернизирована - образец наклонён на угол
![$\phi_0=\pi/6$ $\phi_0=\pi/6$](https://dxdy-04.korotkov.co.uk/f/7/3/c/73cd880f5beb3c4bb69c723d807e5cf982.png)
и может вращаться вокруг оси, перпендикулярной к его поверхности. Кроме того, можно подавать управляющее напряжение, смещающее пучок на заданное расстояние
![$x_0$ $x_0$](https://dxdy-03.korotkov.co.uk/f/e/7/1/e714a3139958da04b41e3e607a54445582.png)
. С учётом вышесказанного профиль ямки, вытравленной в неподвижном образце выглядит так:
![$f(x,y,x_0)=\exp\left(-\left{(x-x_0)^2+(y*\sin\phi_0)\right}\right)$ $f(x,y,x_0)=\exp\left(-\left{(x-x_0)^2+(y*\sin\phi_0)\right}\right)$](https://dxdy-03.korotkov.co.uk/f/6/9/d/69dcca65bf06560814c3f04aaad0d2d882.png)
. При вращении образца травится осесимметричная лунка, профиль которой определяется следующим выражением:
где
![$\rho$ $\rho$](https://dxdy-03.korotkov.co.uk/f/6/d/e/6dec54c48a0438a5fcde6053bdb9d71282.png)
- расстояние от оси вращения,
![$V$ $V$](https://dxdy-03.korotkov.co.uk/f/a/9/a/a9a3a4a202d80326bda413b5562d5cd182.png)
- "сила" сеанса травления, в основном определяется временем, в течение которого проходило травление. Нужно найти закон, по которому
![x_0 x_0](https://dxdy-04.korotkov.co.uk/f/3/e/0/3e0d691f3a530e6c7e079636f20c111b82.png)
нужно менять в течение сеанса травления чтобы получить лунку с наиболее гладким дном радиуса
![$A$ $A$](https://dxdy-02.korotkov.co.uk/f/5/3/d/53d147e7f3fe6e47ee05b88b166bd3f682.png)
. Или, что то же самое, найти весовую функцию
![$v(x_0)$ $v(x_0)$](https://dxdy-02.korotkov.co.uk/f/d/1/5/d158c86f932ef4970ac636271bab39dd82.png)
, такую что
![$$
I_f(\rho)=\int\limits_0^A dx_0 I(\rho,x_0)\cdot v(x_0)
$$ $$
I_f(\rho)=\int\limits_0^A dx_0 I(\rho,x_0)\cdot v(x_0)
$$](https://dxdy-04.korotkov.co.uk/f/7/e/b/7eb31a631d1a3ac8a881df367f92803282.png)
будет как можно более гладкой функцией.
Что такое "гладкая"? Есть два аспекта. Амплитуда неровностей и наклон. Доказать не смогу, но, кажется, если мы будем уменьшать наклон поверхности, т.е. модуль производной, то при наших непрерывных дифференцируемых функциях амплитуда будет минимальной автоматически. Итого, нужно минимизировать
![$\int\limits_0^Ad\rho \left(\frac{dI_f(\rho)}{d\rho}\right)^2 $\int\limits_0^Ad\rho \left(\frac{dI_f(\rho)}{d\rho}\right)^2](https://dxdy-03.korotkov.co.uk/f/a/4/b/a4b5f989525e5b3bcaa7234f86293f1f82.png)
при условии
![$v(x_0)\geqslant 0$ $v(x_0)\geqslant 0$](https://dxdy-02.korotkov.co.uk/f/5/5/2/5529ac2e23062e31407c70b3fbce183882.png)
,
Математика
Итак, поставлена следующая задача. Необходимо найти функцию
![$v(x_0)$ $v(x_0)$](https://dxdy-02.korotkov.co.uk/f/d/1/5/d158c86f932ef4970ac636271bab39dd82.png)
, такую что выполняются следующие условия:
От попыток решить аналитически я отказался сразу. Из численных методов были предприняты две наивные попытки. Первая - составить матрицу из значений
![I(\rho,x_0) I(\rho,x_0)](https://dxdy-04.korotkov.co.uk/f/b/e/d/bed8b441068cdf4dc1fc22ac20bdb9fc82.png)
, а затем решить уравнение Ax=y, где y - вектор из единичек. Вторая - составить матрицу значений производных и найти собственный вектор, соответствующий наименьшему по модулю собственному значению. Обе попытки успеха не принесли, так как решением этих задач являются знакопеременные вектора.
Следующим шагом было использование функции матлаба, в которую удалось запихнуть все условия. Был получен удивительный результат - оказалось что весовая функция почти везде равна нулю. Физически это означает что пучок во время травления должен двигаться не непрерывно, а скачками. Иначе говоря, сеанс травления должен состоять из нескольких экспозиций разной длительности при разных значениях отклоняющего напряжения. Провели эксперимент, профиль совпал с расчётным. То есть, с практической точки зрения, задача решена.
Остались вопросы. В чём причина дискретности решения? Нельзя ли решить эту задачу проще, уж больно проста структура полученного решения?
Я выложил не весь материал. Дополню, если кто заинтересуется этой темой.
Спасибо В.В. - обнаружил опечатку. В двух местах перепутал
![$\rho$ $\rho$](https://dxdy-03.korotkov.co.uk/f/6/d/e/6dec54c48a0438a5fcde6053bdb9d71282.png)
и x, исправлено.