2014 dxdy logo

Научный форум dxdy

Математика, Физика, Computer Science, Machine Learning, LaTeX, Механика и Техника, Химия,
Биология и Медицина, Экономика и Финансовая Математика, Гуманитарные науки




Начать новую тему Ответить на тему
 
 Травление лунки с плоским дном
Сообщение21.02.2008, 17:41 


14/02/08
4
При анализе работы установки ионного травления я наткнулся на математическую проблему, с которой никак не могу разобраться. Ниже - формулировка задачи и мои соображения.

Физика

Есть установка ионного травления. С её помощью нужно получить лунку с максимально плоским дном. Если поставить образец перпендикулярно пучку, вытравится лунка с профилем $f(x_1,y_1)=\exp\left(-(x_1^2+y_1^2)/\sigma^2\right) , где \sigma - полуширина пучка на уровне 1/e. Выполним замену переменных $x=x_1/\sigma, y=y_1/\sigma$ и в дальнейшем будем полагать что все координаты и пространственные измерения являются безразмерными, или, что то же самое, выраженными в единицах полуширины пучка. Имевшаяся установка модернизирована - образец наклонён на угол $\phi_0=\pi/6$ и может вращаться вокруг оси, перпендикулярной к его поверхности. Кроме того, можно подавать управляющее напряжение, смещающее пучок на заданное расстояние $x_0$. С учётом вышесказанного профиль ямки, вытравленной в неподвижном образце выглядит так: $f(x,y,x_0)=\exp\left(-\left{(x-x_0)^2+(y*\sin\phi_0)\right}\right)$. При вращении образца травится осесимметричная лунка, профиль которой определяется следующим выражением:
$$
I(\rho,x_0,V)=V\cdot\int\limits_{0}^{2\pi} d\phi f(\rho\cdot\cos\phi,\rho\cdot\cos\phi,x_0) 
$$
где $\rho$ - расстояние от оси вращения,
$V$ - "сила" сеанса травления, в основном определяется временем, в течение которого проходило травление. Нужно найти закон, по которому x_0 нужно менять в течение сеанса травления чтобы получить лунку с наиболее гладким дном радиуса $A$ . Или, что то же самое, найти весовую функцию $v(x_0)$, такую что
$$
I_f(\rho)=\int\limits_0^A dx_0 I(\rho,x_0)\cdot v(x_0) 
$$ будет как можно более гладкой функцией.
Что такое "гладкая"? Есть два аспекта. Амплитуда неровностей и наклон. Доказать не смогу, но, кажется, если мы будем уменьшать наклон поверхности, т.е. модуль производной, то при наших непрерывных дифференцируемых функциях амплитуда будет минимальной автоматически. Итого, нужно минимизировать
$\int\limits_0^Ad\rho \left(\frac{dI_f(\rho)}{d\rho}\right)^2 при условии
$v(x_0)\geqslant 0$, $\int\limits_0^A dx_0 v(x_0)=1$

Математика
Итак, поставлена следующая задача. Необходимо найти функцию $v(x_0)$, такую что выполняются следующие условия:
$\int\limits_0^A d\rho \left(\int\limits_0^A dx_0 v(x_0) \int\limits_0^{2\pi} d\phi \frac d{d\rho}\exp \left(-\left\right(\rho\cos\phi-x_0)^2-(\rho\sin\phi\sin\phi_0)^2\right)\right)^2 \to \min $
$\int\limits_0^Adx_0v(x_0)=1$
$\forall x_0: x_0 \subset [0,A] \Rightarrow v(x_0)\geqslant0$

От попыток решить аналитически я отказался сразу. Из численных методов были предприняты две наивные попытки. Первая - составить матрицу из значений I(\rho,x_0), а затем решить уравнение Ax=y, где y - вектор из единичек. Вторая - составить матрицу значений производных и найти собственный вектор, соответствующий наименьшему по модулю собственному значению. Обе попытки успеха не принесли, так как решением этих задач являются знакопеременные вектора.

Следующим шагом было использование функции матлаба, в которую удалось запихнуть все условия. Был получен удивительный результат - оказалось что весовая функция почти везде равна нулю. Физически это означает что пучок во время травления должен двигаться не непрерывно, а скачками. Иначе говоря, сеанс травления должен состоять из нескольких экспозиций разной длительности при разных значениях отклоняющего напряжения. Провели эксперимент, профиль совпал с расчётным. То есть, с практической точки зрения, задача решена.

Остались вопросы. В чём причина дискретности решения? Нельзя ли решить эту задачу проще, уж больно проста структура полученного решения?

Я выложил не весь материал. Дополню, если кто заинтересуется этой темой.

Спасибо В.В. - обнаружил опечатку. В двух местах перепутал $\rho$ и x, исправлено.

 Профиль  
                  
Показать сообщения за:  Поле сортировки  
Начать новую тему Ответить на тему  [ 1 сообщение ] 

Модераторы: Модераторы Математики, Супермодераторы



Кто сейчас на конференции

Сейчас этот форум просматривают: нет зарегистрированных пользователей


Вы не можете начинать темы
Вы не можете отвечать на сообщения
Вы не можете редактировать свои сообщения
Вы не можете удалять свои сообщения
Вы не можете добавлять вложения

Найти:
Powered by phpBB © 2000, 2002, 2005, 2007 phpBB Group