При анализе работы установки ионного травления я наткнулся на математическую проблему, с которой никак не могу разобраться. Ниже - формулировка задачи и мои соображения.
Физика
Есть установка ионного травления. С её помощью нужно получить лунку с максимально плоским дном. Если поставить образец перпендикулярно пучку, вытравится лунка с профилем
, где
- полуширина пучка на уровне 1/e. Выполним замену переменных
и в дальнейшем будем полагать что все координаты и пространственные измерения являются безразмерными, или, что то же самое, выраженными в единицах полуширины пучка. Имевшаяся установка модернизирована - образец наклонён на угол
и может вращаться вокруг оси, перпендикулярной к его поверхности. Кроме того, можно подавать управляющее напряжение, смещающее пучок на заданное расстояние
. С учётом вышесказанного профиль ямки, вытравленной в неподвижном образце выглядит так:
. При вращении образца травится осесимметричная лунка, профиль которой определяется следующим выражением:
где
- расстояние от оси вращения,
- "сила" сеанса травления, в основном определяется временем, в течение которого проходило травление. Нужно найти закон, по которому
нужно менять в течение сеанса травления чтобы получить лунку с наиболее гладким дном радиуса
. Или, что то же самое, найти весовую функцию
, такую что
будет как можно более гладкой функцией.
Что такое "гладкая"? Есть два аспекта. Амплитуда неровностей и наклон. Доказать не смогу, но, кажется, если мы будем уменьшать наклон поверхности, т.е. модуль производной, то при наших непрерывных дифференцируемых функциях амплитуда будет минимальной автоматически. Итого, нужно минимизировать
при условии
,
Математика
Итак, поставлена следующая задача. Необходимо найти функцию
, такую что выполняются следующие условия:
От попыток решить аналитически я отказался сразу. Из численных методов были предприняты две наивные попытки. Первая - составить матрицу из значений
, а затем решить уравнение Ax=y, где y - вектор из единичек. Вторая - составить матрицу значений производных и найти собственный вектор, соответствующий наименьшему по модулю собственному значению. Обе попытки успеха не принесли, так как решением этих задач являются знакопеременные вектора.
Следующим шагом было использование функции матлаба, в которую удалось запихнуть все условия. Был получен удивительный результат - оказалось что весовая функция почти везде равна нулю. Физически это означает что пучок во время травления должен двигаться не непрерывно, а скачками. Иначе говоря, сеанс травления должен состоять из нескольких экспозиций разной длительности при разных значениях отклоняющего напряжения. Провели эксперимент, профиль совпал с расчётным. То есть, с практической точки зрения, задача решена.
Остались вопросы. В чём причина дискретности решения? Нельзя ли решить эту задачу проще, уж больно проста структура полученного решения?
Я выложил не весь материал. Дополню, если кто заинтересуется этой темой.
Спасибо В.В. - обнаружил опечатку. В двух местах перепутал
и x, исправлено.